技術(shù)編號：40370755
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬于晶圓盒處理裝置，涉及一種晶圓盒的開關(guān)鎖裝置、以及具有這種開關(guān)鎖裝置的清洗設(shè)備及烘干設(shè)備。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的不斷發(fā)展，晶圓制程和存儲過程中對環(huán)境潔凈度的要求越來越高，需要對晶圓的潔凈度進行控制，而晶圓的潔凈度很大程度上取決于晶圓盒內(nèi)的環(huán)境，因此需要對晶圓盒進行清洗、烘干以保證清潔度。現(xiàn)有的晶圓盒具有盒體和蓋子，蓋子蓋合于盒體上形成密封腔室，需要通過伸入旋鈕孔內(nèi)的旋鈕轉(zhuǎn)動一定角度實現(xiàn)打開或關(guān)閉。對于晶圓盒的自動清洗設(shè)備或烘干設(shè)備，需要配置自動的開關(guān)鎖裝置來將蓋子自動打開或鎖上...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。