技術(shù)編號：40377435
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及微電子，尤其涉及一種電子器件的制備方法及電子器件。背景技術(shù)、目前，mems(微機電系統(tǒng))器件芯片生產(chǎn)工藝中，會涉及到多種空腔結(jié)構(gòu)。例如：腔體濾波器就是采用諧振腔體結(jié)構(gòu)的微波濾波器，一個腔體能夠等效成電感并聯(lián)電容，從而形成一個諧振級，實現(xiàn)微波濾波功能；電容式麥克風(fēng)核心組成部件是振膜和背板構(gòu)成的腔體，振膜和背板腔體構(gòu)成了平行板電容器，振膜在聲波壓力的作用下會發(fā)生位移導(dǎo)致電容大小發(fā)生變化，從而將聲音信號轉(zhuǎn)化為電信號；還有氣體傳感器的體硅空腔結(jié)構(gòu)等。、然而，現(xiàn)有的空腔結(jié)構(gòu)的加工工藝中，腔體...
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