技術(shù)編號(hào)：40379011
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及真空鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種氣體反應(yīng)控制中轉(zhuǎn)裝置、系統(tǒng)及真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)、氣體流量計(jì)是真空鍍膜設(shè)備中必不可少的組件，用于控制工藝氣體(氬氣、氮?dú)?、氧氣?的流量；在部分需要高精準(zhǔn)控制的應(yīng)用場(chǎng)景中，往往需要配置特定的氣體反應(yīng)控制器，例如氣體反應(yīng)控制器speedflo，用來提高鍍膜工藝的穩(wěn)定性，這一類氣體反應(yīng)控制器屬于閉環(huán)控制，參考圖所示，現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備中，氣體反應(yīng)控制器speedflo通過反饋接口直接讀取靶電源的電壓值，通過輸出接口實(shí)時(shí)控制和調(diào)整第三方的工藝氣體流量計(jì)，由于氣...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。