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      一種低噪聲MEMS加速度計(jì)技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40382839

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      本技術(shù)屬于微機(jī)電,特別涉及一種低噪聲mems加速度計(jì)。背景技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)(mems,micro?electro?mechanical?system)包括微傳感器、微驅(qū)動(dòng)器和相應(yīng)的處理電路,是在微電子和微機(jī)械技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的新學(xué)科。它采用集成電路兼容的批量加工技術(shù)制造,構(gòu)成的原件尺寸在毫米-微米量級(jí)范圍內(nèi),相比傳統(tǒng)機(jī)械器件具有體積小、重量輕、可靠性高、易于集成等優(yōu)點(diǎn),極大地提高了系統(tǒng)的自動(dòng)化、智能化和可靠性水平。mems加速度計(jì)是利用微機(jī)械加工技術(shù),將加速度信號(hào)轉(zhuǎn)換為慣性力完成物理量檢測(cè)的...
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