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      一種繃膜、XY移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40388722

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      本技術(shù)屬于半導(dǎo)體封裝測(cè)試,特別是涉及一種繃膜、xy移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺(tái)。背景技術(shù)、半導(dǎo)體晶圓在進(jìn)行解理時(shí),需要將半導(dǎo)體晶圓放置在繃膜架繃緊的藍(lán)膜上,藍(lán)膜具有一定的張力,以保持半導(dǎo)體晶圓的水平度,可有效避免半導(dǎo)體晶圓變形或斷裂。、如cnu所公開(kāi)的晶圓承載框的加工裝置提到,傳統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓采用晶圓繃膜架并通過(guò)工人手工的方式進(jìn)行操作,將藍(lán)膜手工繃緊到緊貼在藍(lán)膜架附近,再通過(guò)滾筒按壓藍(lán)膜后在繃膜架上滾動(dòng),使待藍(lán)膜與繃膜架粘牢,再手持刀具將繃膜架以外區(qū)域的藍(lán)膜切除;然而對(duì)于自動(dòng)化...
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