技術(shù)編號(hào):40390023
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及真空長(zhǎng)晶爐,具體涉及一種新型快慢速切換運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),適用于真空長(zhǎng)晶爐外側(cè)電磁感應(yīng)線圈的升降運(yùn)動(dòng)。背景技術(shù)、目前,隨著對(duì)晶體材料的要求越來(lái)越高,對(duì)真空長(zhǎng)晶爐的晶體生產(chǎn)環(huán)境的要求也越來(lái)越高。一般情況下,坩堝軸穿過(guò)下爐蓋帶動(dòng)爐內(nèi)坩堝在爐內(nèi)上、下往復(fù)移動(dòng),即在爐內(nèi)溫場(chǎng)中上、下往復(fù)移動(dòng),從而適應(yīng)晶體生長(zhǎng)工藝,晶體生長(zhǎng)完成后,開啟下爐蓋,取出坩堝內(nèi)晶體產(chǎn)品。則在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,坩堝軸與下爐蓋產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng),這給真空爐的密封手段增加了較大難度。、為了克服這一缺點(diǎn),可以選擇利用z向直線模組帶動(dòng)真空長(zhǎng)晶爐...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。