技術(shù)編號(hào)：40393236
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種閃存結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)、閃存(flash?memory)是一種非易失性存儲(chǔ)器，在沒有電流供應(yīng)的條件下也能夠長久地保持?jǐn)?shù)據(jù)，即斷電數(shù)據(jù)也不會(huì)丟失。浮柵型閃存，由于其有利于節(jié)省芯片面積，提高存儲(chǔ)集成密度，被廣泛應(yīng)用于各種嵌入式電子產(chǎn)品如金融ic卡、汽車電子等領(lǐng)域中。、現(xiàn)有的浮柵閃存結(jié)構(gòu)，通常包括擦除柵(erase?gate)、控制柵(control?gate)以及浮柵(floating?gate)。其中，控制柵位于浮柵之上，并由介質(zhì)層隔離開，擦除柵位于兩...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。