技術(shù)編號：40393416
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及半導(dǎo)體制造，更具體地涉及用于制造設(shè)備的控制系統(tǒng)。背景技術(shù)、半導(dǎo)體已經(jīng)迅速成為全球現(xiàn)代生活不可或缺的一部分；在制造業(yè)、公共基礎(chǔ)設(shè)施和消費(fèi)設(shè)備中找到應(yīng)用。舉例來說，半導(dǎo)體可以在手機(jī)和電腦中找到，但是也可以在如咖啡機(jī)、電燈、高速鐵路和飛機(jī)的各種各樣的東西中找到。、半導(dǎo)體在具有嚴(yán)格工藝和質(zhì)量控制的先進(jìn)制造設(shè)施中生產(chǎn)。這些制造設(shè)施龐大、復(fù)雜，并且依賴于許多不同的制造工具。、測試機(jī)和分選機(jī)是兩種類型的制造工具，并且在本文中用作非限制性描述示例。制造工具還可以包括執(zhí)行生產(chǎn)半導(dǎo)體所需的許多不同工...
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