技術(shù)編號：40394795
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于去磷去硼硅刻蝕清洗設(shè)備，尤其是涉及一種去磷去硼硅刻蝕清洗設(shè)備。背景技術(shù)、電池片濕法刻蝕是太陽能電池片生產(chǎn)過程中的一道重要工序，通過利用酸性混合液體對擴(kuò)散后的硅片下表面和邊緣進(jìn)行腐蝕，其主要目的是去除硅片邊緣的pn結(jié)，避免短路并降低并聯(lián)電阻，目前電池片濕法刻蝕加工常使用到酸洗烘干一體鏈?zhǔn)綑C(jī)，該酸洗烘干一體鏈?zhǔn)綑C(jī)包括上片、濕法蝕刻、水洗、干燥和下片等步驟。、目前用于電池片濕法刻蝕的酸洗烘干一體鏈?zhǔn)綑C(jī)在使用時，因電池硅片原料品質(zhì)差異和酸性溶液濕法蝕刻不均勻?qū)е码姵毓杵吘塸n結(jié)去除不徹底...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。