技術(shù)編號：40396006
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體涉及一種光掩模保護膜拆卸裝置及拆卸方法。背景技術(shù)、光掩模版的保護膜是保證光掩模版免受污染和損傷的關(guān)鍵部件。然而，在拆除保護膜時，傳統(tǒng)方法通常存在以下問題：加熱法拆除：利用加熱板加熱保護膜，使膠粘劑軟化或液化來實現(xiàn)拆除，然而，這種方法容易導(dǎo)致膠粘劑噴濺，污染光掩模版表面，并在清洗時可能引起霧斑，影響光掩模版的清潔度和精度；直接工具拆除：直接使用工具拆除保護膜，但由于光掩模版結(jié)構(gòu)精細(xì)且易損，直接施力拆除極易造成損壞，導(dǎo)致成本增加、光掩模版壽命縮短。、因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。