技術(shù)編號(hào)：40396971
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)屬于脫膜裝置，具體涉及一種脫膜輥。背景技術(shù)、在微納米壓印行業(yè)，無論是研發(fā)實(shí)驗(yàn)過程中還是生產(chǎn)過程中，都會(huì)遇到手動(dòng)脫膜的操作。通過手動(dòng)撕拉的方式，將模板和目標(biāo)結(jié)構(gòu)材料分離開來。尤其是晶圓尺寸的實(shí)驗(yàn)樣品，由于其尺寸小、數(shù)量少，因此無法適用自動(dòng)化的脫膜儀器。同時(shí)，純手動(dòng)的脫膜方式，容易產(chǎn)生脫膜力度、脫膜角度的不均勻性，不僅操作不方便，且容易導(dǎo)致人為誤差的產(chǎn)生。、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。