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      一種通用對(duì)位機(jī)構(gòu)及光刻機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40399462

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      本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備,尤其涉及一種通用對(duì)位機(jī)構(gòu)及光刻機(jī)。背景技術(shù)、光刻機(jī)是一種半導(dǎo)體工業(yè)中常用的設(shè)備,用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體芯片上。在制造芯片時(shí),需要使用光刻機(jī)將電路圖案“鍍”在芯片表面上,以便進(jìn)行后續(xù)的加工工藝。對(duì)位機(jī)構(gòu)是光刻機(jī)中一種用于推動(dòng)晶圓的部件,其能夠?qū)A進(jìn)行定位。、現(xiàn)有技術(shù)中,由于不同機(jī)型對(duì)氣缸供氣方式的差別以及框架結(jié)構(gòu)的不同,對(duì)位機(jī)構(gòu)僅適用于對(duì)應(yīng)型號(hào)的光刻機(jī)。在兩種不同機(jī)型光刻機(jī)補(bǔ)充對(duì)位機(jī)構(gòu)時(shí),由于結(jié)構(gòu)上的差異,不論是自主加工還是購(gòu)買(mǎi)現(xiàn)貨都要涉及到兩種型號(hào),不僅難以尋找貨...
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