技術(shù)編號(hào)：40401270
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)mems領(lǐng)域，具體涉及一種t型模態(tài)耦合諧振式加速度計(jì)。背景技術(shù)、mems（微機(jī)電系統(tǒng)）加速度計(jì)憑借其微型化設(shè)計(jì)與高度集成的便利性，已成為消費(fèi)電子、地震監(jiān)測(cè)、航空航天等關(guān)鍵領(lǐng)域的不可或缺的組成部分。依據(jù)其獨(dú)特的檢測(cè)機(jī)制，mems加速度計(jì)可細(xì)分為諧振式、電容式及壓阻式等多種類型。在眾多類型中，mems諧振式加速度計(jì)憑借其測(cè)量范圍廣、精度高及抗干擾性強(qiáng)等顯著優(yōu)勢(shì)，在需要高精度、高可靠性測(cè)量的領(lǐng)域中發(fā)揮著不可替代的作用。、mems諧振式加速度傳感器主要通過施加加速度改變諧振器的軸...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。