技術(shù)編號(hào)：40401872
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開內(nèi)容涉及保護(hù)帶（guardband），并且特定而言涉及基板處理系統(tǒng)中的保護(hù)帶。背景技術(shù)、可以通過使用制造設(shè)備執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)制造處理來生產(chǎn)產(chǎn)品。例如，基板處理設(shè)備可用于通過基板處理操作來生產(chǎn)基板。將生產(chǎn)具有特定屬性的產(chǎn)品。與基板制造處理相關(guān)聯(lián)地監(jiān)測傳感器數(shù)據(jù)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、下文是公開內(nèi)容的簡化概要，以提供對本公開內(nèi)容的一些方面的基本了解。此概要不是本公開內(nèi)容的廣泛概述。此概要既不旨在標(biāo)識(shí)本公開內(nèi)容的關(guān)鍵或重要元素，也不旨在描繪本公開內(nèi)容的特定實(shí)施方式的任何范圍或權(quán)利要求的任何范圍。此概要...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。