技術(shù)編號:40402297
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備制造領(lǐng)域,尤其涉及一種棒體承載機構(gòu)及晶棒劃線機。背景技術(shù)、在硅片的生產(chǎn)過程中,需要對拉晶工序生成的晶棒進行檢測,以根據(jù)檢測結(jié)果對晶棒進行劃線,后道切割工序以劃線作為晶棒截斷的基準。、現(xiàn)有的晶棒劃線機在實施劃線操作時,通常是通過人工來旋轉(zhuǎn)承載組件上的晶棒,存在工作效率低和費時費力的缺點。技術(shù)實現(xiàn)思路、本申請的目的在于提供一種棒體承載機構(gòu),以解決現(xiàn)有技術(shù)中晶棒在實施劃線時通過人工旋轉(zhuǎn)晶棒存在工作效率低和費時費力的缺點;另外,本申請還提供一種包括上述棒體承載機構(gòu)的晶棒劃線機...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。