技術(shù)編號：40405957
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及天車控制，尤其涉及一種天車系統(tǒng)擁塞疏導(dǎo)方法、裝置、電子設(shè)備和存儲介質(zhì)。背景技術(shù)、amhs（automatic?material?handling?system自動物料搬送系統(tǒng)）是一種用于在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)自動處理和搬運晶圓的系統(tǒng)。天車是amhs系統(tǒng)中的一種常見設(shè)備，通常用于在工廠內(nèi)沿軌道移動，搬運晶圓使其在不同機臺之間進行流轉(zhuǎn)。由于天車的軌道網(wǎng)絡(luò)是一個稀疏的有向有環(huán)圖，且軌道上只允許單向行駛，當前車因故障或裝卸晶圓或者處于搬運狀態(tài)的天車數(shù)量較多時，可能會出現(xiàn)軌道阻塞的現(xiàn)象，導(dǎo)致晶圓搬...
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