技術(shù)編號：40406600
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其涉及改進型靜電吸盤。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體工藝中，如何保障機臺運行過程中，各部件正常穩(wěn)定的工作，是生產(chǎn)過程中不可忽略的重點。靜電吸盤是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設(shè)備的總稱。靜電吸盤所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢技術(shù)，在半導(dǎo)體、面板顯示、光學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛應(yīng)用。、由于晶圓(wafer)的尺寸要大于靜電吸盤(esc)的尺寸，在晶圓經(jīng)等離子體的轟擊后，產(chǎn)生的顆粒濺落在esc的邊緣以及側(cè)壁，由于esc是由鋁基座通過...
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