技術編號：40407065
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及微波等離子體化學氣相沉積，具體而言，涉及一種聯(lián)軸器、樣品臺組件及mpcvd裝置。背景技術、聯(lián)軸器，是電機與軸、或軸與軸之間相互連接的中間件，其在傳遞運動和動力的過程中與軸一同回轉。、現(xiàn)有技術中的聯(lián)軸器結構復雜，給生產(chǎn)帶來了極大的不便。技術實現(xiàn)思路、本實用新型的目的，在于克服現(xiàn)有技術的不足，提供了一種結構簡單的聯(lián)軸器。、本實用新型的另一目的，在于提供了一種樣品臺組件，其采用了上述聯(lián)軸器。、本實用新型的又一目的，在于提供了一種mpcvd裝置，其采用了上述樣品臺組件。、本實用新型...
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