技術(shù)編號：40407455
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請案涉及用于分析與處理過程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法；更具體來說，本申請案涉及用于分析與多運行循環(huán)處理過程相關(guān)聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)的診斷方法，多運行循環(huán)處理過程包括循環(huán)(cyclic)及/或循環(huán)的(looped)操作。背景技術(shù)、可通過使用制造設(shè)備來執(zhí)行一種或多種制造處理來生產(chǎn)產(chǎn)品。例如，半導(dǎo)體制造設(shè)備可用于通過半導(dǎo)體制造處理來生產(chǎn)基板。要被生產(chǎn)的產(chǎn)品具有適合目標(biāo)應(yīng)用的特定性質(zhì)。了解和控制制造腔室內(nèi)的特性有助于產(chǎn)品的一致性生產(chǎn)。技術(shù)實現(xiàn)思路、以下是本申請案的簡化概述，以提供對本申請案的一些方面...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。