技術編號：40443287
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及半導體離子注入設備，尤其涉及一種離子注入機高壓發(fā)生器配接機構。背景技術、離子注入機中的高壓發(fā)生器可為離子加速過程提供能量，其一般安裝于離子注入機框架中。專利文獻cnu公開一種高壓發(fā)生器絕緣支架，可應用于離子注入機中，其包括固定底座和支架本體，支架本體在固定底座上，支架本體包括縱向固定板和橫向固定板，縱向固定板和橫向固定板處于同一象限的側面開設有固定凹槽，縱向固定板和橫向固定板分別設有縱向調(diào)節(jié)機構和橫向調(diào)節(jié)機構，縱向調(diào)節(jié)機構包括縱向滑槽、縱向調(diào)節(jié)絲桿、縱向滑塊和縱向擋...
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