国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>
      一種全角度斜入射的暗場(chǎng)照明系統(tǒng)和方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40443415

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

      本發(fā)明屬于晶圓缺陷檢測(cè),具體的說(shuō),涉及一種全角度斜入射的暗場(chǎng)照明系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體制造工藝的快速發(fā)展其對(duì)晶圓表面缺陷尺寸的檢測(cè)要求也越來(lái)越高。目前晶圓缺陷檢測(cè)的方式主要有兩種,明場(chǎng)缺陷檢測(cè)技術(shù)和暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)技術(shù)。明場(chǎng)缺陷檢測(cè)技術(shù)是通過(guò)收集待測(cè)表面的反射光或透射光進(jìn)而形成圖像;暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)技術(shù)則是一種通過(guò)收集待測(cè)樣品表面的散射信號(hào)來(lái)檢測(cè)缺陷的非接觸式光學(xué)檢測(cè)技術(shù)。該技術(shù)相較于明場(chǎng)照明檢測(cè),由于其暗場(chǎng)照明的特征,具有高對(duì)比度,高精度,背景噪聲小,無(wú)損檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于晶圓缺陷檢測(cè)...
      注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
      該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

      詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
      該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
      • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
      • 楊老師:物理電子學(xué)