技術(shù)編號(hào)：40450265
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅還原爐控制，具體涉及一種多晶硅還原爐控制方法、設(shè)備以及可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)、多晶硅是光伏行業(yè)的重要原料，隨著可再生能源開發(fā)利用的不斷發(fā)展，多晶硅供應(yīng)與需求不斷上升，樂(lè)觀估計(jì)，到年全球多晶硅需求有望達(dá)到萬(wàn)噸。目前主流的生產(chǎn)多晶硅的方法為改良西門子法，該方法利用化學(xué)氣相沉積的原理，在還原爐內(nèi)攝氏度左右的高溫下，使用氫氣還原三氯氫硅得到沉積在硅芯上的多晶硅。、在傳統(tǒng)工業(yè)制造過(guò)程中，尤其是在涉及還原爐等關(guān)鍵設(shè)備的操作中，多晶硅還原爐控制往往依賴于人工經(jīng)驗(yàn)和定期...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。