技術編號：40450863
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及單晶爐，具體涉及一種單晶爐上爐筒旋轉裝置。背景技術、直拉式單晶硅生長爐是一種高效率制備硅單晶硅的設備，目前順應大尺寸化發(fā)展趨勢，大尺寸單晶爐已發(fā)展成主流，取棒和加料過程中難度和危險系數也隨之遞增，傳統(tǒng)單晶硅生長爐在取晶棒和加料過程中，在上爐筒上升至一定高度后，通過手動旋轉，將上爐筒橫向旋轉至主爐室另一側，開始進行取棒或加料。但是手動旋轉，人員作業(yè)難度大，震動較大，穩(wěn)定性差，取棒時有晶棒掉落的風險，存在很大的安全隱患。、現有技術中，如申請?zhí)枮?的中國實用新型...
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