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      液體分裝裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:4149653

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      本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種液體分裝裝置。背景技術(shù)目前,在半導(dǎo)體制造工藝中,很多制程需要清洗液,其中需求量比較大的是異丙醇(IPA,英文全稱Isopropyl Alcohol)。異丙醇作為清洗去油劑,主要用于分立器件以及中、大規(guī)模集成電路及超大規(guī)模集成電路工藝中。同時(shí)也是工業(yè)上比較便宜的溶劑,用途廣,能和水自由混合,對親油性物質(zhì)的溶解力比乙醇強(qiáng)。IPA具有危險(xiǎn)特性易燃,其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物,遇明火、高熱能引起燃燒爆炸,與氧化劑接觸猛...
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