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      基板收納裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):4173417

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      本發(fā)明涉及一種基板收納裝置,特別涉及一種用于大型基板的搬 運(yùn)的基板收納裝置。背景技術(shù)以往,有如日本實(shí)用新型登錄第3105536號(hào)公報(bào)(圖1)所記載的 基板收納裝置。該基板收納裝置通過(guò)將由框體圍成的基板的收容室在 平面方向上并排多個(gè)并配設(shè)成格子狀,能夠同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)基板。但是,上述基板收納裝置在搬運(yùn)小型基板時(shí)可以適用,但要搬運(yùn) 大型基板等時(shí),不得不使各收容室的面積加大。因此,收納裝置整體 的面積變大,但是,由于在基板搬運(yùn)時(shí)必須將收納裝置搭載在卡車等 的承載臺(tái)上...
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