技術編號：4257827
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種基板緩存裝置，包括安裝支架，還包括多個用于存放基板的支撐結(jié)構，相互平行、間隔地由上至下設置于所述安裝支架上，且相對于所述安裝支架活動設置；驅(qū)動結(jié)構，用于當機械手欲在其中的第一支撐結(jié)構上方進行取放基板操作時，推動所述第一支撐結(jié)構以上的所述支撐結(jié)構向上滑動，所述第一支撐結(jié)構的上方留出機械手進行取放操作的轉(zhuǎn)換空間。該基板緩存裝置在保證不增加占用空間的條件下，解決現(xiàn)有技術基板存放空間較小，不利于機械手進行取放轉(zhuǎn)換動作的問題。專利說明一種基板緩存裝置[...
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