技術(shù)編號：4286753
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在收納玻璃基板、液晶基板、PDP基板等基板的收納盒和對所述基 板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板的輸送系統(tǒng)。背景技術(shù)在薄型顯示器等制造設(shè)備中，玻璃基板等基板被收納在收納盒內(nèi)。然后，在處理基 板時，向處理裝置輸送基板，若處理結(jié)束，則再次被收納在收納盒內(nèi)。在這樣的制造設(shè)備中， 需要在收納盒和處理裝置之間輸送基板的輸送系統(tǒng)?；宓妮斔拖到y(tǒng)要求具有與處理裝置 的基板的處理能力相應(yīng)的輸送能力。例如，在處理裝置的基板的處理能力超過輸送系統(tǒng)的 輸送能力的情況...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。