技術(shù)編號:4305622
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于存放對空氣和/或濕氣敏感的化學(xué)藥品的中空桶(Leergebinde),其具有一個(gè)接頭元件和至少300L的內(nèi)部體積,以及用于連接該 中空桶的適配器(Adapter)以及其用途。背景技術(shù)例如,應(yīng)用于微電子行業(yè)的硅化合物,尤其必須要滿足對其純度的高要求。 此外相應(yīng)的硅化合物通過取向附生或氮化硅(SiN)、氧化硅(SiO)、氮氧化硅 (SiON)、碳氧化硅(SiOC)或碳化硅(SiC)等方式被用于生產(chǎn)高純度的硅薄膜。在 這些應(yīng)用領(lǐng)域中,這些初始化...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。