技術(shù)編號(hào)：4335864
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于在真空室內(nèi)分別沿3軸方向輸送基板 等輸送物的真空輸送裝置。背景技術(shù)例如，在半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置等中，將 真空輸送裝置用作由真空容器等構(gòu)成的真空室內(nèi)的基板的輸送 部件。作為用于在真空室內(nèi)輸送基板的基板輸送裝置的代表結(jié) 構(gòu)，公知有專利文獻(xiàn)1的圖10中公開的那樣的結(jié)構(gòu)。在該專利文獻(xiàn)l中，在真空容器的外側(cè)配置有電源、控制 所使用的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，借助真空法蘭(vacuum flange)連接該 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。在真空容器內(nèi)實(shí)際上僅收容有用于保持...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。