技術(shù)編號：4336626
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明總體上涉及一種由耐高活性材料(highly reactive material)的腐蝕性和劣化性的材料形成的流體分布裝置和用于形成該裝置的方法。背景技術(shù)在某些工業(yè)中，必須處理高活性氣體和液體。在工業(yè)加工和應(yīng)用過程中經(jīng)常分布或分配這些氣體和液體。用于處理這些高活性氣體和液體的分配物體在與氣體和液體接觸時經(jīng)常迅速腐蝕和劣化。從而，這些分配物體的使用壽命取決于其耐高活性氣體和液體的腐蝕和劣化的能力。例如，在半導體晶圓加工中，經(jīng)常橫跨晶圓表面分布氣體，以制成...
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