技術(shù)編號:4339334
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體襯底、液晶基板等的薄板的運送裝置,特別是涉及利用空氣浮 起而能無破損和損傷地進行運送的空氣浮起單元、運送方法以及空氣浮起運送裝置。背景技術(shù)一般,將液晶基板等薄的平面基板利用氣體浮起并運送的裝置被提出有多神。例如,在圖4所示的空氣浮起運送裝置中,朝向平面基板1的下面噴出空氣的多個 噴嘴2的空氣浮起單元3隔開規(guī)定間隔配置。這樣的結(jié)構(gòu)的空氣浮起運送裝置中,由圖外 的送給機構(gòu)將平面基板1向箭頭A方向運送時,平面基板1的剛性小的情況下,如圖所示在 空...
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