技術(shù)編號:4364188
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機械手以及機器人。背景技術(shù)公知有使由壓電材料形成的部件(振動體)振動來驅(qū)動對象物的壓電馬達。該壓電馬達具有如下特征與利用電磁力來使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的方式的電磁馬達相比,該壓電馬達的體型小、且能夠得到大的驅(qū)動力,進而,能夠以高分辨率定位對象物。因此,例如作為照相機的驅(qū)動機構(gòu)等各種裝置的致動器而被使用。壓電馬達以如下的原理進行動作。首先,將振動體(壓電材料)形成為近似長方體形狀,并在長邊方向的...
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