技術(shù)編號：4365997
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種真空設備的傳送裝置，特別是涉及一種用于傳送一基板的傳送裝置。背景技術(shù)參閱圖1、2，為一種已知的真空設備的傳送裝置1，安裝在一真空腔體21上，用于傳送一個表面固定有數(shù)塊基板22的載具23，使所述基板22被傳送于該真空腔體21內(nèi)部的過程中，能同時進行鍍膜作業(yè)。該真空腔體21界定出一個腔室211，并且包括兩個前后間隔的側(cè)壁212，以及一個連接在所述側(cè)壁212的頂緣的頂壁213。該傳送裝置I包括數(shù)個左右間隔的傳送機構(gòu)11、一個用于驅(qū)動其中一傳送機...
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