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      制造光學(xué)透鏡的工藝的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):4428420

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      本發(fā)明涉及一種由半導(dǎo)體襯底的主體制造光學(xué)透鏡的工藝。背景技術(shù)在日本專利公開(kāi)No.55-13960中公開(kāi)了一種現(xiàn)有技術(shù),其涉及一種通過(guò) 陽(yáng)極化在半導(dǎo)體襯底的表面上制造微結(jié)構(gòu)的工藝。陽(yáng)極化用于在電解液中氧 化襯底的上表面。以與陽(yáng)極的排列相對(duì)應(yīng)的圖案,選擇性地在上表面中進(jìn)行 氧化。該陽(yáng)極獨(dú)立于襯底而形成,并且與襯底的下表面保持接觸,從而在襯 底的上表面上部分地留下氧化部分。此后,去除氧化部分,以在襯底的上表 面留下凸起。這種技術(shù)足以形成相對(duì)薄的輪廓或深度小的表面...
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