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      制造光學(xué)元件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:4445975

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      本發(fā)明屬于借助于包括壓印步驟的復(fù)制過程優(yōu)選地在晶片規(guī)模制造例如折射光 學(xué)透鏡或衍射微光學(xué)透鏡的多個光學(xué)元件的領(lǐng)域。更具體而言,其涉及復(fù)制多個光學(xué)元件 的方法。背景技術(shù)復(fù)制的光學(xué)元件包括用于以任何預(yù)定義方式影響光學(xué)射束的透明衍射和/或折 射光學(xué)元件,諸如透鏡的折射元件,可能至少部分地反射的元件等。當(dāng)通過復(fù)制來制造光學(xué)元件時,常常存在包括襯底的基本結(jié)構(gòu)——復(fù)制工具,復(fù) 制材料被設(shè)置為與襯底和/或復(fù)制工具接觸。該復(fù)制工具包括作為要復(fù)制的(多個)元件 的表面結(jié)構(gòu)的...
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