技術編號：4536860
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種廢氣和危害性有毒氣體的處理裝置，公開一種廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結構。廢氣和危害性有毒氣體是在半導體制程原物料與副產(chǎn)物中產(chǎn)生的，通過在燃燒室中燃燒可以處理這些氣體，使排放的氣體達到環(huán)保排放標準。二背景技術在處理半導體制程原物料與副產(chǎn)物中會產(chǎn)生多種廢氣和危害性有毒氣體，這些危害物有些有腐蝕燃燒室的危險，因此這些危害性有毒氣體不能直接排放到大氣中，所以就會涉及到處理這些廢氣和危害性有毒氣體的方法和裝置。一般處理的方法有(1)電熱水洗式(Therma...
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