技術編號：4605332
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及將氣體加熱供應的裝置，具體為一種熱風加熱裝置。 背景技術目前，公知的半導體工藝中，有很多步驟要用到加熱氣體的供應，或吹干或 烘烤或保持局部空間溫度穩(wěn)定等等。但是，現(xiàn)有的氣體加熱裝置，有時出現(xiàn)氣體 溫度忽高忽低，不能保持恒定，或是受熱氣體的流量、壓力等不能保持穩(wěn)定，從 而給生產(chǎn)工藝帶來不必要的麻煩。 發(fā)明內(nèi)容為了克服上述的種種不足，本發(fā)明提供一種熱風加熱裝置，解決現(xiàn)有技術 中存在的加熱氣體溫度忽髙忽低，不能保持恒定等問題。釆用該裝置受熱氣體 可長時...
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