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技術(shù)編號：4699290

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本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體、液晶等電子器件的無塵室，具體而言，是涉及設(shè)置在無塵室頂棚部中的風(fēng)扇過濾器單元(下面稱為FFUFan Filter Unit)的控制運轉(zhuǎn)的FFU控制系統(tǒng)和具有該系統(tǒng)的無塵室。 背景技術(shù) 一般地，無塵室的清潔度通過無塵室內(nèi)的制造工序被區(qū)分為1、10、100、1000級，通過FFU吹出的風(fēng)速引起的無塵室內(nèi)氣流循環(huán)次數(shù)或HEPA過濾器、ULPA過濾器等過濾器等級來區(qū)分該清潔度。近年來，已知在制造工序中使用不產(chǎn)生硼氣的PTFE過濾器或降低了...
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