技術編號：4807379
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種將185納米紫外有機物分解器和膜脫氣裝置相結合制造有機物含量低的超純水的工藝方法。超純水主要用于大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和很多其他電子通訊器材制造業(yè)。超純水中總有機物含量，通常以總有機碳(TOC)含量來衡量，保證超純水中TOC指標對于超純水制造工藝通常是有挑戰(zhàn)性的。因為185納米紫外光可以打斷有機物中大多數(shù)化學鍵，所以可以用185納米紫外光分解純水中殘留有機物。純水中殘留有機物在185納米紫外光作用下分解后可能以三種形式存在，即帶電小分子有機物、...
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