技術(shù)編號：4977587
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種化學過濾器，其用于從氣體或液體中除去有惡臭的 物質(zhì)，或安裝在半導體、液晶或精密電子部件制造工場中的潔凈室中或 安裝在用于此潔凈室中的裝置中以除去例如離子性氣體雜質(zhì)等。背景技術(shù)在諸如半導體制造產(chǎn)業(yè)和液晶制造產(chǎn)業(yè)等尖端產(chǎn)業(yè)中，抑制潔凈室 中的空氣污染和產(chǎn)品表面污染以確保產(chǎn)品的產(chǎn)量、質(zhì)量和可靠性是很重要的。在半導體制造產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，隨著產(chǎn)品高集成化的提高，在利用HEPA 過濾器或ULPA過濾器等抑制顆粒污染物的同時，抑制離子性氣體污染 物(堿性和酸性氣...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。