技術(shù)編號：4989522
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明一般地涉及等離子體處理裝置，特別涉及微波等離子體處理裝置。等離子體處理處理及等離子體處理裝置，對于近年來的被稱為深亞微米(deep submicron)元件或深次微米(deep subquarter micron)元件、具有接近于0.1μm或其以下柵極長度的超微小化半導(dǎo)體器件的制造，或?qū)τ诤幸壕э@示裝置的高清晰度平面顯示裝置的制造來說，是不可缺少的技術(shù)。作為在半導(dǎo)體器件或液晶顯示裝置的制造中使用的等離子體處理裝置，以往使用各種等離子體的激發(fā)方式，特...
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