技術(shù)編號：4990461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及以所定量排出藥液等的液體的，例如，有關(guān)為在半導(dǎo)體單晶片的表面，涂抹感光膠液，而使用的適合的。背景技術(shù)以半導(dǎo)體單晶片制造技術(shù)為首，在液晶基片制造技術(shù)、磁盤制造技術(shù)以及多層配線基片制造技術(shù)等的各種中的制造流程中，使用感光膠液、旋涂式玻璃液(スピニォンガラス液)、聚酰亞胺樹脂液、純水、腐蝕液、有機溶劑等的藥液，在涂抹這些藥液時，使用藥液供給裝置。例如，在半導(dǎo)體單晶片的表面上，涂抹感光膠液的情況下，是以使半導(dǎo)體單晶片在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)為基礎(chǔ)，通過藥液供...
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