技術(shù)編號：5002075
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及多晶硅制造，更具體地說，涉及一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)和廢氣回收利用裝置。背景技術(shù)多晶硅是制備半導(dǎo)體器件和太陽能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的基石，目前制備多晶硅最主要的方法為西門子法，其主要原理是，將高純的氫氣和高純度的硅的反應(yīng)物(多為硅鹵化物，如三氯氫硅)作為原料，按一定比例通入到反應(yīng)容器內(nèi)(即多晶硅還原爐)，在高溫高壓的環(huán)境下，氫氣還原硅的反應(yīng)物，從而形成多晶硅，形成的多晶硅會沉積在硅芯上，得到多晶硅棒。在多晶硅生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的...
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