技術(shù)編號：5008801
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及制備高純度溴化氫(HBr)的方法及設(shè)備。背景技術(shù) 溴化氫代替氟化碳?xì)怏w已用于半導(dǎo)體制造過程的刻蝕和其它方面，氟化碳?xì)怏w影響臭氧層的問題已經(jīng)提出，它的使用受到了限制。因此要求發(fā)展制備大量的高純度的溴化氫技術(shù)。制備高純度溴化氫的傳統(tǒng)方法的一個實例將參照圖2予以敘述。含有溴化氫及雜質(zhì)的原料貯存于鋼瓶1。加熱鋼瓶1使原料蒸發(fā)。蒸發(fā)出來的溴化氫用壓力調(diào)節(jié)閥2調(diào)節(jié)到一個預(yù)先確定的壓力，并且被引入填充分子篩的吸附器3中。依靠分子篩除去氣體中水分以外的雜質(zhì)，因此...
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