技術(shù)編號:5025449
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。-本實(shí)用新型涉及一種凈化氣體的過濾器,尤其是涉及一種在半導(dǎo)體工業(yè)或 醫(yī)療用等使用的、除去空氣中氣態(tài)污染物質(zhì)的化學(xué)過濾器。技術(shù)背景在半導(dǎo)體制造業(yè)中,粘在集成電路的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接 影響產(chǎn)品的成品率,故對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對空氣過濾器的要求 也苛刻。當(dāng)今的過濾技術(shù)雖可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零的程度,但 仍存在產(chǎn)品質(zhì)量品質(zhì)不符合要求的情況,分析其主要原因是空氣中的化學(xué)污 染物成了影響成品率的主要危害。例如在鍍銀、鍍銅的工藝中,S...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。