技術編號：5033355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及含金屬化合物領域，尤其是制備有機金屬化合物領域。背景技術含金屬化合物被用于多種應用，例如用于生長金屬膜的催化劑和原料。這些化合物的一種應用是制備電子器件，例如半導體。許多半導體材料是通過采用了超純金屬有機 (有機金屬)化合物的完善的沉積技術來制備的，例如金屬有機氣相外延、金屬有機分子束外延(epitaxy)、金屬有機化學氣相沉積和原子層沉積。許多這些金屬有機化合物或其起始材料由于它們與空氣反應、自燃性和/或毒性而使處理面臨極大挑戰(zhàn)。生產(chǎn)這些有機金...
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