技術(shù)編號(hào):5140670
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種,該切割液中,包含有丙烯酸類增稠劑、三乙醇胺、消泡劑、三乙醇胺油酸皂以及去離子水,其中,三乙醇胺油酸皂一方面可以增強(qiáng)所述切割液的抗擠壓性和潤(rùn)滑性,另一方面可以防腐,延長(zhǎng)所述切割液的保質(zhì)期,增強(qiáng)其穩(wěn)定性。同時(shí),切割液含大量去離子水,因水的大比熱容,使其具有良好的冷卻性,且水溶液易沖洗。另外,組分中大量的去離子水大大降低了切割液生產(chǎn)成本,減少了對(duì)環(huán)境的污染,切割晶片易清洗,污片少,硅片成品率高。最后,本發(fā)明具有配制簡(jiǎn)單易操作,生產(chǎn)成本低,切割硅...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。