技術(shù)編號：5264598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及以中空絲作為流路的。 背景技術(shù)在化學或生物化學的領(lǐng)域，正在進展關(guān)于應(yīng)用MEMS (Micro ElectroMechanical System)技術(shù)的反應(yīng)系或分析裝置的小型化的研究，正在進行關(guān)于作為其中構(gòu)成要素之一的微型泵、微型閥這樣的具有單一功能的機械要素(微型機器)的研究開發(fā)(例如參照莊子，《化學工業(yè)》，化學工業(yè)社，2001年11月，第52卷，第11號，42-46頁，及前田，《工^夕卜口二夕^實裝學會志》，社團法人工^夕卜口二夕^實裝學會，2...
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