技術(shù)編號(hào)：5264773
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子，涉及一種納米機(jī)電系統(tǒng)中，具體地說，涉及一種包括單根碳納米管、多根碳納米管或碳納米管束的碳納米管皮拉尼真空計(jì)。背景技術(shù)隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，越來越多的MEMS器件需要真空環(huán)境以提高器件性能以及保證器件能夠更長(zhǎng)時(shí)間的正常工作。如一些電子、機(jī)械以及光學(xué)傳感器，包括微諧振器、微陀螺儀、薄膜壓力傳感器、射頻MEMS元件，真空?qǐng)霭l(fā)射器以及一些光學(xué)MEMS器件等。封裝腔體內(nèi)的真空度在很大程度上決定了器件的最終性能、工作的可靠性及其壽命，因此對(duì)封裝腔體...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。