技術編號：5265477
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種諧振器結構，具體地涉及MEMS (微電子機械系統(tǒng))諧振器，以 及制造這種諧振器的方法。背景技術在電子裝置中的定時參考已經(jīng)機械實現(xiàn)很長時間。在很多應用中存在著振蕩器 封裝的石英晶體諧振器。石英晶體諧振器的高品質(zhì)因數(shù)和低溫度漂移意味著它具有高穩(wěn) 定性，并且因此被選作電子裝置中的定時參考。另一方面MEMS諧振器也是由微型元件可操作地設置在襯底上形成的器件。 MEMS諧振器通常通過利用光刻以及其他微加工技術以制造例如傳感器和驅(qū)動器而構 建。微機械諧振...
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